单芯片三轴各向异性磁阻传感器及其制造方法

Abstract

本发明提供了一种单芯片三轴各向异性磁阻传感器及其制造方法,该传感器包括:基底,其表面位于X方向和Y方向确定的平面内,基底的表面具有内凹的沟槽;磁通量集中器,位于沟槽的侧壁上;第一介质层,填充沟槽并覆盖磁通量集中器以及基底的表面;位于第一介质层上的第一磁传感器,检测方向为该X方向;位于第一介质层上的第二磁传感器,检测方向为该Y方向;位于第一介质层上的第三磁传感器,检测方向落入X方向和Y方向确定的平面内;其中,第三磁传感器和磁通量集中器共同形成了检测方向为Z方向的Z方向磁传感器。本发明的传感器结构简单,无需垂直封装,并且其制造方法和传统微电子工艺的匹配性好,适合大批量工业化生产。

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      CN-102918413-AFebruary 06, 2013艾沃思宾技术公司单芯片三轴磁场传感器的工艺集成
      CN-103885004-AJune 25, 2014磁感科技香港有限公司Magnetic sensing device, and magnetic sensing method and manufacturing technology thereof

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